TNKS OZ
TNKS OZ
- Y
- 01-06
- 自宅半導体製造プロジェクト
- Homemade Semiconductor Project
自宅で半導体デバイスを製造するための二種類の装置を展示します。
・高真空装置（TNKS）：熱･プラズマによって金属原料にエネルギーを与え、真空中に飛び出した粒子を基板に堆積させます。デバイスの電極作製に用います。
・ミストCVD装置（OZ）：超音波振動子で霧（ミスト）状にした原料溶液を、セラミックヒータで加熱した基板上で分解させて半導体の膜を作ります。デバイス本体の作製に用います。
プロフィール
半導体に興味を持った学生二人のグループです。半導体デバイスを自宅で製造することを目標に活動しています。
TNKS（京都工芸繊維大学）：テスラコイルなどを主に製作してきましたが、テスラコイルの技術が半導体成膜にも応用出来るのではないかと思い、スパッタ装置等の作製を試みています。
OZ（電気通信大学）：大学で半導体に関する研究を行っています。今回は自宅で半導体を製造できるミストCVD装置を製作しました。